国科大杭州高等研究院化材学院原子层沉积系统采购项目政府采购需求公示

项目名称: 国科大杭州高等研究院化材学院原子层沉积系统采购项目政府采购需求公示

招标公司: 国科大杭州高等研究院

来源: 杭州政府采购网

采购标的物: 原子层沉积系统

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根据《政府采购需求管理办法》(财库【2021】22号)要求，现对本部门(单位)化材学院原子层沉积系统采购项目采购需求公示如下：

一、项目信息

采购人：国科大杭州高等研究院

项目名称：化材学院原子层沉积系统采购项目

项目所属年度：2021

预算金额：950,000.00元

需求编制时间：2021年12月21日

项目概况：原子层沉积（ALD：atomic layer deposition)是一种基于有序、表面自饱和反应的化学气相沉积薄膜的方法，通过将气相前驱体脉冲交替地通入反应器并在沉积基底上化学吸附并反应形成沉积膜的一种技术。当前驱体达到沉积基底表面，它们会在其表面化学吸附并发生表面反应。在前驱体脉冲之间需要用惰性气体对原子层沉积反应器进行清洗。原子层沉积系统是制备高质量氧化物薄膜的核心仪器。原子层沉积设备主要用于沉积氧化物、氮化物及金属薄膜，主要应用于半导体器件、OLED、玻璃强化、太阳能电池钝化层、微米纳米颗粒功能性包裹、银器的防氧化处理、高精度光学玻璃镀膜和锂电池等。

二、公示期限

2022年01月04日至2022年01月11日

三、采购需求内容

详见附件。

四、联系方式

采购人

联系人：沈伟峰

联系地址：杭州市西湖区象山支弄1号13号楼406室

联系电话：18957130302

五、附件

政府采购项目采购需求

部门(单位)名称：国科大杭州高等研究院

日期：2022年01月04日

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